太陽能業者陸續展現專利成果,
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,日前中美晶公布多晶長晶專利在七國共取得十項專利後,
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,太陽能矽晶圓大廠綠能(3519)昨(19)日宣布,
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,在鑽石切割後續製程技術取得專利,
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,可提升矽晶圓轉換效率。綠能表示,
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,獨創的「蝕刻液與矽基板表面粗糙化方法」獲得我國發明專利;在中國大陸則於專利審查程序中。雖然電池廠也鑽研相關製程技術,
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,但未必能達到同樣程度,未來綠能的電池客戶,可藉由採購其透過相關技術生產的矽晶圓,製作轉換效率更高的電池片。目前太陽能切片製程多以銅線搭配切削液為主,綠能表示,鑽石切割線在耐用度與生產力方面表現佳,預期將成為下階段主要製程之一。綠能雙向並進,除在銅線切片獲專利切割與研磨技術,也研發新世代鑽石切割技術。綠能指出,其濕蝕刻技術配合鑽石線切割,預估最高可提升矽晶圓轉換效率達0.4%,搭配電池局部背鈍化(PERC)技術,最高效率可達19.5%,平均效率達18.4%。若加上新開發的140um鑽石切割製程,矽料耗損率可再降低10%。依據設備導入時間與電池端製程搭配技術估算,濕蝕刻技術預計在2017年陸續導入供應鏈製程。先前中美晶宣布多晶長晶專利取得多國專利,並開放台廠同業登記為期二年的免費授權。根據了解,部分業者已與中美晶簽署授權協議,但有些仍持觀望態度。,